[发明专利]制造表面发射半导体激光器中的掩埋式隧道结的方法无效
申请号: | 200380104438.4 | 申请日: | 2003-11-06 |
公开(公告)号: | CN1717850A | 公开(公告)日: | 2006-01-04 |
发明(设计)人: | 马库斯-克里斯琴·阿曼 | 申请(专利权)人: | 维特拉斯有限责任公司 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 李晓舒;魏晓刚 |
地址: | 德国*** | 国省代码: | 德国;DE |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 制造 表面 发射 半导体激光器 中的 掩埋 隧道 方法 | ||
【权利要求书】:
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