[发明专利]多边滚筒溅射装置及其溅射方法、由其形成的被覆微粒子有效
| 申请号： | 200380105432.9 | 申请日： | 2003-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN1723294A | 公开（公告）日： | 2006-01-18 |
| 发明（设计）人： | 阿部孝之;渡边国昭;本多祐二 | 申请（专利权）人： | 友技科株式会社;阿部孝之 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/00;B01J3/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘建 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多边 滚筒 溅射 装置 及其 方法 形成 被覆 微粒子 | ||
【说明书】：
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