[发明专利]用于铜互连的电化学或化学沉积的电镀溶液及其方法无效
| 申请号： | 200380106127.1 | 申请日： | 2003-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN1726310A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | S·D·博伊德;S·克萨里;W·M·拉曼纳;M·J·帕伦特;L·A·扎哲拉;张海燕 | 申请（专利权）人： | 3M创新有限公司 |
| 主分类号： | C25D3/38 | 分类号： | C25D3/38 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 朱黎明 |
| 地址： | 美国明*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 互连 电化学 化学 沉积 电镀 溶液 及其 方法 | ||
【说明书】：
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