[发明专利]调整基底形状的卡盘系统和方法有效
| 申请号： | 200380106274.9 | 申请日： | 2003-11-12 |
| 公开（公告）号： | CN1726429A | 公开（公告）日： | 2006-01-25 |
| 发明（设计）人： | B－J·乔伊;R·D·弗伊欣;S·V·斯里尼瓦桑;M·P·C·瓦茨;D·A·巴布斯;M·J·美斯尔;H·L·贝利;N·E·苏马克 | 申请（专利权）人： | 分子制模股份有限公司 |
| 主分类号： | G03B27/58 | 分类号： | G03B27/58;G03B27/60;G03B27/32;B29C35/08;H01L21/461 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 顾峻峰 |
| 地址： | 美国得*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 调整 基底 形状 卡盘 系统 方法 | ||
【权利要求书】：
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