[发明专利]光学形状测量和/或评定的方法及装置有效
| 申请号： | 200380107047.8 | 申请日： | 2003-11-22 |
| 公开（公告）号： | CN1729381A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 克里斯托夫·瓦格纳;赖纳·瓦格纳 | 申请（专利权）人： | OBE奥马赫特&鲍姆格特纳有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24;G01B11/30 |
| 代理公司： | 上海智信专利代理有限公司 | 代理人： | 邓琪 |
| 地址： | 德国伊*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光学 形状 测量 评定 方法 装置 | ||
【说明书】：
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