[发明专利]用测试结构制作半导体元件的方法无效
| 申请号： | 200380107080.0 | 申请日： | 2003-12-05 |
| 公开（公告）号： | CN1729569A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | P·L·C·西蒙;A·M·范德波尔 | 申请（专利权）人： | 皇家飞利浦电子股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/544 | 分类号： | H01L23/544;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 张雪梅;梁永 |
| 地址： | 荷兰艾*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 测试 结构 制作 半导体 元件 方法 | ||
【权利要求书】：
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