[发明专利]真空蒸镀装置及蒸镀薄膜制造方法有效
| 申请号： | 200380107480.1 | 申请日： | 2003-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN1732284A | 公开（公告）日： | 2006-02-08 |
| 发明（设计）人： | 佐佐木昇;铃木浩;小泉文刚;今井伸彦;新井邦正;小长井裕之 | 申请（专利权）人： | 凸版印刷株式会社;应用薄膜有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C16/54 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜利 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 装置 薄膜 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
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