[发明专利]Ge－Cr合金溅射靶及其制造方法无效
| 申请号： | 200380109312.6 | 申请日： | 2003-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN1745191A | 公开（公告）日： | 2006-03-08 |
| 发明（设计）人： | 高见英生;安岛宏久 | 申请（专利权）人： | 株式会社日矿材料 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C22C1/04;C22C28/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 樊卫民;郭国清 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | ge cr 合金 溅射 及其 制造 方法 | ||
【说明书】：
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