[发明专利]具有多检测器的扫描电子显微镜和基于多检测器成像方法有效
| 申请号： | 200380110408.4 | 申请日： | 2003-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1820194A | 公开（公告）日： | 2006-08-16 |
| 发明（设计）人： | 德罗尔·塞梅斯;帕维尔·阿达梅克 | 申请（专利权）人： | 应用材料以色列公司 |
| 主分类号： | G01N23/00 | 分类号： | G01N23/00 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;梁挥 |
| 地址： | 以色列瑞*** | 国省代码： | 以色列;IL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 检测器 扫描 电子显微镜 基于 成像 方法 | ||
【权利要求书】：
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