[发明专利]镀膜装置和镀膜方法及该镀膜装置专用的镀膜室无效
| 申请号： | 200410000360.8 | 申请日： | 2004-01-09 |
| 公开（公告）号： | CN1580318A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | 金一镐;金显正;赵国衡;方溢焕 | 申请（专利权）人： | 查姆工程株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 余刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 镀膜 装置 方法 专用 | ||
【说明书】：
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