[发明专利]多层膜材料的干法刻蚀方法无效
| 申请号： | 200410001388.3 | 申请日： | 2004-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN1550575A | 公开（公告）日： | 2004-12-01 |
| 发明（设计）人： | 川井健治 | 申请（专利权）人： | 株式会社瑞萨科技 |
| 主分类号： | C23F4/00 | 分类号： | C23F4/00;C23F1/00;G11B5/31;G11C11/15;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/302 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 钟守期;庞立志 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 多层 材料 刻蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
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