[发明专利]基板原材的表面处理装置无效
| 申请号： | 200410004679.8 | 申请日： | 2004-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN1658737A | 公开（公告）日： | 2005-08-24 |
| 发明（设计）人： | 新山喜三郎;绿川昌广;菅原清司 | 申请（专利权）人： | 东京化工机株式会社 |
| 主分类号： | H05K3/00 | 分类号： | H05K3/00 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基板原材 表面 处理 装置 | ||
【权利要求书】：
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