[发明专利]图案模拟方法及其程序和存储其程序的媒体及其装置有效
| 申请号： | 200410005306.2 | 申请日： | 2004-02-10 |
| 公开（公告）号： | CN1521566A | 公开（公告）日： | 2004-08-18 |
| 发明（设计）人： | 樫本登;伊月义治 | 申请（专利权）人： | 东芝松下显示技术有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G02F1/133;G06F17/00 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所 | 代理人： | 包于俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 图案 模拟 方法 及其 程序 存储 媒体 装置 | ||
【说明书】：
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