[发明专利]用于光刻装置的水平传感器有效
| 申请号： | 200410005823.X | 申请日： | 2004-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN1517798A | 公开（公告）日： | 2004-08-04 |
| 发明（设计）人： | P·A·A·特尼森;P·J·M·布鲁德巴克;R·M·G·J·奎恩斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 廖凌玲;蔡民军 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 光刻 装置 水平 传感器 | ||
【权利要求书】：
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