[发明专利]具有高空间分辨力的差动共焦扫描检测方法有效
| 申请号： | 200410006359.6 | 申请日： | 2004-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN1527026A | 公开（公告）日： | 2004-09-08 |
| 发明（设计）人： | 赵维谦;谭久彬;邱丽荣 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京英特普罗知识产权代理有限公司 | 代理人： | 马东晓 |
| 地址： | 150001黑*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 空间 分辨力 差动 扫描 检测 方法 | ||
【说明书】：
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