[发明专利]电子细分割装置及应用该电子细分割装置的测量系统有效
| 申请号： | 200410007938.2 | 申请日： | 2004-03-05 |
| 公开（公告）号： | CN1664491A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 杨景荣 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 细分 装置 应用 测量 系统 | ||
【说明书】：
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