[发明专利]离子注入机中的靶盘垂直扫描运动机构有效
| 申请号： | 200410008464.3 | 申请日： | 2004-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1560897A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 汪劲松;朱煜;陈涛;尹文生;段广洪;于晖 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01J37/317 | 分类号： | H01J37/317;H01L21/265 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子 注入 中的 垂直 扫描 运动 机构 | ||
【权利要求书】：
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