[发明专利]大平面构图介质的高通量检测方法和装置无效
申请号: | 200410008911.5 | 申请日: | 2004-03-15 |
公开(公告)号: | CN1532542A | 公开(公告)日: | 2004-09-29 |
发明(设计)人: | 亚当·韦斯;阿夫沙尔·萨兰勒;奥利克西·洛帕廷;亚历山德雷·奥博特耐 | 申请(专利权)人: | 光子动力学公司 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95 |
代理公司: | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 葛强;方挺 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 平面 构图 介质 通量 检测 方法 装置 | ||
【说明书】:
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