[发明专利]硬盘用微致动器中的多层膜压电元件及其制备方法无效
| 申请号： | 200410009092.6 | 申请日： | 2004-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN1571181A | 公开（公告）日： | 2005-01-26 |
| 发明（设计）人： | 荆阳;雒建斌;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | H01L41/083 | 分类号： | H01L41/083;H01L41/187;H01L41/047;H01L41/24;G11B19/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硬盘 用微致动器 中的 多层 压电 元件 及其 制备 方法 | ||
【说明书】：
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