[发明专利]氢氧化钾溶液腐蚀（100）硅上<110>晶向凸角的补偿方法无效
| 申请号： | 200410009379.9 | 申请日： | 2004-07-28 |
| 公开（公告）号： | CN1598060A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 范炜;张大成;李婷;于晓梅 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/32;B81C1/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 氢氧化钾 溶液 腐蚀 100 110 补偿 方法 | ||
【权利要求书】：
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