[发明专利]差分式抗高过载微型隧道加速度计及其制备方法无效
| 申请号： | 200410009521.X | 申请日： | 2004-09-08 |
| 公开（公告）号： | CN1746681A | 公开（公告）日： | 2006-03-15 |
| 发明（设计）人： | 董海峰;郝一龙;贾玉斌;沈三民;张文栋 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;H01L29/84 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所 | 代理人： | 俞达成 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 分式 过载 微型 隧道 加速度计 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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