[发明专利]籽晶诱导、低温液相外延自组装生长氧化锌薄膜的方法无效
| 申请号： | 200410010860.X | 申请日： | 2004-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1696356A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 王志军;吕有明;申德振;王之建;李守春;元金山;张吉英;范希武 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | C30B19/00 | 分类号： | C30B19/00;H01L21/36 |
| 代理公司： | 长春科宇专利代理有限责任公司 | 代理人： | 李恩庆 |
| 地址： | 130031吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 籽晶 诱导 低温 外延 组装 生长 氧化锌 薄膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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