[发明专利]扫描探针显微镜中压电执行器模型参数标定和非线性校正方法无效
| 申请号： | 200410016561.7 | 申请日： | 2004-02-26 |
| 公开（公告）号： | CN1560593A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 费敏锐;黄自元;李荣庆;刘辉;林学海 | 申请（专利权）人： | 上海大学;上海爱建纳米科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G01N13/10 | 分类号： | G01N13/10 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200072*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 扫描 探针 显微镜 压电 执行 模型 参数 标定 非线性 校正 方法 | ||
【权利要求书】：
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