[发明专利]吗啉衍生物气相缓蚀剂的制备方法无效
| 申请号： | 200410016920.9 | 申请日： | 2004-03-12 |
| 公开（公告）号： | CN1560322A | 公开（公告）日： | 2005-01-05 |
| 发明（设计）人： | 张大全;高立新;周国定;车德竞 | 申请（专利权）人： | 上海电力学院 |
| 主分类号： | C23F11/02 | 分类号： | C23F11/02 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200090上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 衍生物 气相缓蚀剂 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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