[发明专利]应用在清洗液循环系统中可延长过滤器寿命的清洗装置无效
| 申请号： | 200410017410.3 | 申请日： | 2004-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN1676192A | 公开（公告）日： | 2005-10-05 |
| 发明（设计）人： | 郭国超;江瑞星;梁世岳;刘文宏 | 申请（专利权）人： | 上海宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | B01D29/62 | 分类号： | B01D29/62;B01D29/66;B01D35/02;B01D36/00;H01L21/02 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 201203上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 应用 清洗 循环系统 可延长 过滤器 寿命 装置 | ||
【说明书】：
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