[发明专利]微光学器件数字分形掩模制作方法无效
| 申请号： | 200410017769.0 | 申请日： | 2004-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN1564084A | 公开（公告）日： | 2005-01-12 |
| 发明（设计）人： | 吕海宝;漆新民;谌廷政;高益庆;罗武胜;周卫红;朱小进;周鞠宁;罗宁宁 | 申请（专利权）人： | 南昌航空工业学院;中国人民解放军国防科学技术大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F1/00 |
| 代理公司： | 江西省专利事务所 | 代理人： | 张静;张文 |
| 地址： | 330034江西*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微光 器件 数字 分形掩模 制作方法 | ||
【说明书】：
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