[发明专利]TiN-TiAIN系列硬质纳米结构多层膜镀层无效
申请号: | 200410022552.9 | 申请日: | 2004-05-17 |
公开(公告)号: | CN1648286A | 公开(公告)日: | 2005-08-03 |
发明(设计)人: | 陈维熹;强中黎;薛伟贤;钱积惠 | 申请(专利权)人: | 成都凯贝克纳米镀膜技术有限公司 |
主分类号: | C23C30/00 | 分类号: | C23C30/00;C23C28/00;C23C14/06;C23C16/34 |
代理公司: | 成都立信专利事务所有限公司 | 代理人: | 游兰 |
地址: | 610041四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | tin tiain 系列 硬质 纳米 结构 多层 镀层 | ||
【权利要求书】:
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