[发明专利]表面形貌测量用触针及其制备方法有效
| 申请号： | 200410027980.0 | 申请日： | 2004-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN1715826A | 公开（公告）日： | 2006-01-04 |
| 发明（设计）人： | 中川威雄;刘庆;陈德成 | 申请（专利权）人： | 鸿富锦精密工业(深圳)有限公司;鸿海精密工业股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B5/20 | 分类号： | G01B5/20;G01B5/28 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 518109广东省深圳市*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 形貌 测量 用触针 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
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