[发明专利]半导体器件及其制造方法有效
申请号: | 200410029741.9 | 申请日: | 2004-03-24 |
公开(公告)号: | CN1536660A | 公开(公告)日: | 2004-10-13 |
发明(设计)人: | 野口纯司;大岛隆文;三浦典子;石川宪辅;岩崎富生;胜山清美;斋藤达之;田丸刚;山口日出 | 申请(专利权)人: | 株式会社瑞萨科技 |
主分类号: | H01L23/52 | 分类号: | H01L23/52;H01L21/768 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 | 代理人: | 季向冈 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 半导体器件 及其 制造 方法 | ||
【说明书】:
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