[发明专利]硅单晶的生产方法及装置、硅单晶和硅半导体晶片有效
| 申请号： | 200410031425.5 | 申请日： | 2004-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN1540042A | 公开（公告）日： | 2004-10-27 |
| 发明（设计）人： | 维尔弗里德·冯·安蒙;贾尼斯·维尔布利斯;马丁·韦伯;托马斯·韦策尔;赫伯特·施密特 | 申请（专利权）人： | 硅电子股份公司 |
| 主分类号： | C30B15/14 | 分类号： | C30B15/14;C30B29/06 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 王永建 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 德国;DE |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 硅单晶 生产 方法 装置 半导体 晶片 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于硅电子股份公司，未经硅电子股份公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200410031425.5/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
