[发明专利]晶片研磨机台无效
| 申请号： | 200410031580.7 | 申请日： | 2004-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN1672874A | 公开（公告）日： | 2005-09-28 |
| 发明（设计）人： | 吴牧融;钟明晏 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/04 | 分类号： | B24B37/04;B24B55/00;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陈小雯;李晓舒 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 晶片 研磨 机台 | ||
【说明书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于力晶半导体股份有限公司，未经力晶半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200410031580.7/2.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
