[发明专利]去除光罩遮光缺陷的方法及其半导体装置的制造方法有效
| 申请号： | 200410038131.5 | 申请日： | 2004-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN1573557A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 林孜颖;游秋山;胡清旺;谢明志;何明丰;龚俊宏 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王一斌 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 去除 遮光 缺陷 方法 及其 半导体 装置 制造 | ||
【说明书】：
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