[发明专利]包括气体冲洗系统的光刻装置无效
| 申请号： | 200410039750.6 | 申请日： | 2004-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN1530756A | 公开（公告）日： | 2004-09-22 |
| 发明（设计）人： | P·K·德博克西;T·A·R·范恩佩;R·J·胡特曼斯;A·C·A·乔科斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 荷兰;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 包括 气体 冲洗 系统 光刻 装置 | ||
【权利要求书】：
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