[发明专利]清洗装置无效
| 申请号： | 200410042930.X | 申请日： | 2004-06-01 |
| 公开（公告）号： | CN1572383A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 吉田隆司;菊地长保;岩崎元明;幅谷仓夫;矢野达郎;城间贵浩 | 申请（专利权）人： | 富士电机电子设备技术株式会社 |
| 主分类号： | B08B7/04 | 分类号： | B08B7/04;B08B3/00;B08B5/00;G11B23/50;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 | ||
【权利要求书】：
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