[发明专利]利用多投影掩模制造多个电路图案的方法和设备有效
| 申请号： | 200410043256.7 | 申请日： | 2004-05-14 |
| 公开（公告）号： | CN1577091A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 瑞吉诺德·C·法罗;沃伦·K·沃斯基维兹 | 申请（专利权）人： | 艾格瑞系统有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 冯赓宣 |
| 地址： | 美国宾*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 利用 投影 制造 电路 图案 方法 设备 | ||
【权利要求书】：
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