[发明专利]用以形成薄膜的可在基片和防镀片之间改变距离的喷镀设备无效
| 申请号： | 200410043527.9 | 申请日： | 1999-02-16 |
| 公开（公告）号： | CN1548574A | 公开（公告）日： | 2004-11-24 |
| 发明（设计）人： | 二川正康;水户清 | 申请（专利权）人： | 夏普公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 章社杲 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用以 形成 薄膜 防镀片 之间 改变 距离 设备 | ||
【权利要求书】：
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