[发明专利]图形检查装置有效
申请号: | 200410047546.9 | 申请日: | 2004-05-21 |
公开(公告)号: | CN1573280A | 公开(公告)日: | 2005-02-02 |
发明(设计)人: | 林宏树;永森进一 | 申请(专利权)人: | 优志旺电机株式会社 |
主分类号: | G01B11/00 | 分类号: | G01B11/00 |
代理公司: | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人: | 胡建新 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图形 检查 装置 | ||
【权利要求书】:
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