[发明专利]表面仿形测量装置及其方法、程序和记录介质有效
| 申请号： | 200410048329.1 | 申请日： | 2004-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN1573284A | 公开（公告）日： | 2005-02-02 |
| 发明（设计）人： | 野田孝 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00;G01B21/20;G01B21/30 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 韩登营 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 表面 测量 装置 及其 方法 程序 记录 介质 | ||
【权利要求书】：
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