[发明专利]金刚石膜高速精密抛光装置及抛光方法无效
申请号: | 200410050364.7 | 申请日: | 2004-09-03 |
公开(公告)号: | CN1586815A | 公开(公告)日: | 2005-03-02 |
发明(设计)人: | 黄树涛 | 申请(专利权)人: | 沈阳理工大学 |
主分类号: | B24B39/06 | 分类号: | B24B39/06;B24B1/00 |
代理公司: | 沈阳技联专利代理有限公司 | 代理人: | 庞桂芝 |
地址: | 110168辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金刚石 高速 精密 抛光 装置 方法 | ||
【权利要求书】:
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