[发明专利]用于平板基材的镀膜装置有效
| 申请号： | 200410054696.2 | 申请日： | 2004-07-30 |
| 公开（公告）号： | CN1727517A | 公开（公告）日： | 2006-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张礼凯;唐震宸;李天源 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/50 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所 | 代理人： | 刘激扬 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 平板 基材 镀膜 装置 | ||
【说明书】：
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