[发明专利]衬底上的电互连结构及其制作方法有效
申请号: | 200410054921.2 | 申请日: | 2004-07-21 |
公开(公告)号: | CN1577830A | 公开(公告)日: | 2005-02-09 |
发明(设计)人: | 李·M·尼科尔森;曾伟志;克里斯蒂·泰博格 | 申请(专利权)人: | 国际商业机器公司 |
主分类号: | H01L23/52 | 分类号: | H01L23/52;H01L21/31;H01L21/312;H01L21/4763;H01L21/3205;H01L21/768 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 王永刚 |
地址: | 美国*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 互连 结构 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】:
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