[发明专利]微机电器件及其形成方法有效
| 申请号： | 200410055678.6 | 申请日： | 2004-08-02 |
| 公开（公告）号： | CN1603225A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | M·G·蒙罗;E·L·尼克尔;D·M·拉扎罗夫 | 申请（专利权）人： | 惠普开发有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B81C5/00;G02F1/19 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 温大鹏 |
| 地址： | 美国德*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微机 器件 及其 形成 方法 | ||
【权利要求书】：
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于惠普开发有限公司，未经惠普开发有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/200410055678.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
