[发明专利]光致抗蚀剂剥离液组合物及使用光致抗蚀剂剥离液组合物的光致抗蚀剂的剥离方法有效
| 申请号： | 200410059458.0 | 申请日： | 2004-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN1577110A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 李赫镇;金炳默;宋仙英 | 申请（专利权）人： | 东友FINE－CHEM株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 丁香兰 |
| 地址： | 韩国全罗*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光致抗蚀剂 剥离 组合 使用 方法 | ||
【权利要求书】：
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