[发明专利]薄膜复合制备方法与装置无效
| 申请号： | 200410060530.1 | 申请日： | 2004-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN1614081A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 李刘合 | 申请（专利权）人： | 郑州赛铠科贸有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/48 | 分类号： | C23C14/48 |
| 代理公司： | 郑州科维专利代理有限公司 | 代理人： | 张欣棠;刘卫东 |
| 地址： | 450000*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 薄膜 复合 制备 方法 装置 | ||
【说明书】：
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