[发明专利]原版及其制造方法、曝光装置检查系统及检查方法无效
| 申请号： | 200410062471.1 | 申请日： | 2004-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN1576778A | 公开（公告）日： | 2005-02-09 |
| 发明（设计）人： | 佐藤隆;浅野昌史;金井秀树 | 申请（专利权）人： | 株式会社东芝 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00;G01B11/25;G01M11/02;G03F1/08;G03F7/207 |
| 代理公司： | 北京市中咨律师事务所 | 代理人： | 陈海红;段承恩 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 原版 及其 制造 方法 曝光 装置 检查 系统 | ||
【权利要求书】：
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