[发明专利]阴极溅射设备无效
| 申请号： | 200410063816.5 | 申请日： | 2004-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN1580319A | 公开（公告）日： | 2005-02-16 |
| 发明（设计）人： | F·富克斯;S·邦格特;R·林登伯格;H·格里姆;T·斯托莱;U·舒布勒 | 申请（专利权）人： | 应用菲林股份有限两合公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 苏娟;蔡民军 |
| 地址： | 联邦德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 阴极 溅射 设备 | ||
【权利要求书】：
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