[发明专利]光纤微机电系统压力传感器及其制作方法无效
| 申请号： | 200410064904.7 | 申请日： | 2004-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN1614371A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 王鸣;李明;戎华;王婷婷 | 申请（专利权）人： | 南京师范大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24;G01B11/16 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 | 代理人： | 王东升 |
| 地址： | 210097*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 纤微 机电 系统 压力传感器 及其 制作方法 | ||
【权利要求书】：
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