[发明专利]提高光学薄膜激光损伤阈值的镀膜方法无效
| 申请号： | 200410066749.2 | 申请日： | 2004-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN1614082A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 张东平;范正修;邵建达;张大伟;范树海;齐红基;赵元安 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | C23C14/58 | 分类号： | C23C14/58 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人： | 张泽纯 |
| 地址： | 201800上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 提高 光学薄膜 激光 损伤 阈值 镀膜 方法 | ||
【权利要求书】：
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