[发明专利]一种钨塞阻挡层淀积工艺及其结构无效
| 申请号： | 200410067835.5 | 申请日： | 2004-11-04 |
| 公开（公告）号： | CN1604317A | 公开（公告）日： | 2005-04-06 |
| 发明（设计）人： | 缪炳有 | 申请（专利权）人： | 上海华虹(集团)有限公司;上海集成电路研发中心有限公司 |
| 主分类号： | H01L23/532 | 分类号： | H01L23/532;H01L21/768;H01L21/3205 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 | 代理人： | 滕怀流;陶金龙 |
| 地址： | 200020上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 阻挡 层淀积 工艺 及其 结构 | ||
【说明书】：
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