[发明专利]基板检查方法及装置、氮化物半导体元件制造方法及装置无效
| 申请号： | 200410068629.6 | 申请日： | 2004-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN1590986A | 公开（公告）日： | 2005-03-09 |
| 发明（设计）人： | 户田典彦 | 申请（专利权）人： | 冲电气工业株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01N21/00;G01N21/88 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 曲瑞 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 检查 方法 装置 氮化物 半导体 元件 制造 | ||
【权利要求书】：
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